E-UMS130-X Жогорку тактыктагы, аз профилдүү сызыктуу мотор которуу баскычы
Түз позицияны өлчөө менен түз айдоо
Ыкчам, жеткиликтүү этап дизайнында нанопозициялоонун натыйжалуулугу жана жогорку ылдамдыгы
● Сызыктуу жүрүү диапазону 60, 110 жана 160 мм;
● Минималдуу кошумча сызыктуу кыймыл 10 нм;
● Жогорку тактыктагы позиция коддогуч параметрлери: Өнүктүрүү жана абсолюттук өлчөө;
● Compact өлчөмү: 135 мм × 45 мм кесилиши;
● жогорку жүк сыйымдуулугу жана жогорку геометриялык аткаруу үчүн кайчылаш ролик багыттары;
● Үтүксүз 3 фазалуу сызыктуу кыймылдаткычтар